摘要
新奇biopolymer，脱氧核糖核酸acid-hexadecyltrimethylammonium氯化物(DNA-HCTAC)，当在光波导的核心层材料，和cleanroom技术成功地被使用与低繁殖损失制作单个模式的隧道波导，被使用。准备DNA-HCTAC材料在光电信波长显示出高光的质量，例如高透明性，相对高的折射索引和低birefringence。在制造途径，polymethylmethacrylate(PMMA)被用作障碍层保护DNA-HCTAC材料免受光致抗蚀剂开发者的腐蚀剂的伤害，并且蚀刻的条件被优化形成光滑的墙和波导的锋利的剖面图。最后，DNA-HCTAC隧道波导的光特征被测量。结果证明DNA-HCTAC波导与单个模式的繁殖操作并且有低光损失。
出版日期
2012年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
