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非光学量测试与设备

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摘要 TB922002032253基于线阵CCD阵列的在线检测方法=New3DsurfacemeasurementonlinebasedonlinearCCDarrays[刊,中]/周鸿,赵宏(西安交通大学机械学院激光与红外应用所.陕西,西安(710049))//半导体技术.-2001,26(11).-1-4利用矩形光栅离焦投影,产生正弦光场,通过三个严格排列的线阵CCD阵列对物体三维轮廓进行扫描采样测量,一次扫描就可以获得三幅相位图。重点讨论了该方法的原理和特点,并给出试验简图及实际测量结果。图8(李瑞琴)

DOI 354ynrz1j0/141928

作者

机构地区不详

出处《中国光学》 2002年3期

关键词西安交通大学测量结果测量原理检测方法半导体技术红外应用

分类 [理学][物理]

出版日期 2002年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）