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《同步辐射装置用户科技论文集》
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A new sacrificial layer method of liga technology to fabricate movable part of a gripper
A new sacrificial layer method of liga technology to fabricate movable part of a gripper
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摘要
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DOI
ojz7oekz45/1434246
作者
F.Yi E.Tang 等
机构地区
不详
出处
《同步辐射装置用户科技论文集》
2000年1期
关键词
LIGA
X光深层光刻技术
光刻工艺
微型加工
分类
[核科学技术][核技术及应用]
出版日期
2000年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
同步辐射装置用户科技论文集
2000年1期
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