一种新型薄膜瞬态温度传感器的研制-中国期刊网

摘要利用真空离子束溅射技术制作薄膜传感器进行瞬态温度测量已成为目前国际上瞬态温度测试技术重要发展方向之一。为了解决目前国内结构热强度试验对非金属试验件表面瞬态高温测量误差相对较大的问题，本文通过在陶瓷小薄片上离子束溅射生成热电极的方法成功研制了一种新型高温瞬态温度传感器。在相同温升率下，用该温度传感器和粘贴热电偶同时对非金属试验件表面温度进行测量，对比实验结果表明本文所研制传感器的瞬态高温测量误差小于粘贴热电偶的测量误差。

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