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JSM-6700F冷场发射扫描电子显微镜常见故障分析与排除

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摘要以JSM-6700F冷场发射扫描电子显微镜为例,介绍了在实际工作用遇到的几例常见故障现象及原因,详细阐述了样品台控制系统、冷却系统、真空系统等方面故障的处理方法,简要介绍了日常维护的操作事项,强调了细致的日常维护和及时的故障排除是确保电镜处于良好工作状态的关键.

DOI zdlgryop4l/1806964

作者苗壮;田弋纬;李鹏

机构地区不详

出处《西安文理学院学报：自然科学版》 2018年1期

关键词扫描电镜故障排除冷却系统真空系统

分类 [文化科学][教育学]

出版日期 2018年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

西安文理学院学报：自然科学版

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