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晶体相场法研究衬底小倾角对界面形态演化的影响

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摘要采用晶体相场模型模拟了异质外延过程中不同衬底倾角时外延层的生长过程,研究了较大晶格错配度(??10.0)时不同衬底倾角下外延层的生长形貌和界面平均厚度,分析了晶格失配和衬底倾角对外延层的影响。研究表明,在错配度较大时,随着衬底倾角的增大,外延层由层状生长(0°与1°)转变为岛状生长(2°)。

DOI pkd23zg046/182786

作者黄礼琳;罗志荣;王震;黄创高;高英俊

机构地区不详

出处《广西物理》 2013年3期

关键词异质外延晶体相场模型失配位错

分类 [理学][物理]

出版日期 2013年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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广西物理

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异质外延晶体相场模型失配位错

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