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油扩散泵抽空机组对气体抽气速率选择性的分析
油扩散泵抽空机组对气体抽气速率选择性的分析
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摘要
通过对油扩散泵抽气速率和分子流态下气体流动理论的分析,指出油扩散泵抽空机组对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体与氮气抽气速率比值的计算值和实测值,同时指出电离规常数与气体种类有关.
DOI
pkd2353e46/191562
作者
李殿东;柏树;王建录;刘锋
机构地区
不详
出处
《通用机械》
2004年6期
关键词
油扩散泵
抽空机组
抽气速率
选择作用
氮气
电离规常数
分类
[机械工程][机械设计及理论]
出版日期
2004年06月16日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
通用机械
2004年6期
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