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《空调暖通技术》
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2004年2期
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上海某微电子设备公司生产厂房的空调净化工程设计
上海某微电子设备公司生产厂房的空调净化工程设计
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摘要
上海某微电子设备公司主要承担研制和生产高端集成电路制造设备。该公司研发和生产基地位于上海市张江高科技园区内,包括装配试验车间、精密机加工车间、维修车间、办公研发楼等。装配试验车间是其核心部分,要求净化及恒温恒湿。本文简介其净化空调的空气处理。
DOI
16jren2y45/196515
作者
陈浩
机构地区
不详
出处
《空调暖通技术》
2004年2期
关键词
厂房
空调净化
风机过滤单元
恒温恒湿
集成电路
分类
[建筑科学][供热、供燃气、通风及空调工程]
出版日期
2004年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
空调暖通技术
2004年2期
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