摘要
AlowfinenesseFabry-Perotinterferometricdisplacementsensorhasbeendevelopedandtested.WithusingahighstabilityHe-Nelaserandperfectsignalprocessingcircuits,noiselevelof0.01nmequivalenttoreflectordisplacementwasob-tainedinabandwidthof0-1kHz.
出版日期
1996年03月13日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)