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离子注入技术在核辐射探测器中的应用

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摘要主要介绍了离子注入新技术的工作原理，以及在核辐射探测器中的应用；离子注入技术条件(包括加速电压、注入剂量、注入时间与退火温度等)选取；用离子注入技术制备的核辐射探测器的特性比较。

DOI g4q2rxxz48/2213048

作者欧阳茂解

机构地区不详

出处《防化研究》 2004年1期

关键词离子注入技术核辐射探测器工作原理制备工艺半导体掺杂技术

分类 [兵器科学与技术][武器系统与运用工程]

出版日期 2004年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

防化研究

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