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《科学技术创新》
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2008年10期
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微/纳结构加工技术
微/纳结构加工技术
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摘要
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DOI
5jo8r5gz4v/2646560
作者
陈博
机构地区
(哈尔滨工业大学资产投资经营有限责任公司,黑龙江哈尔滨150006)
出处
《科学技术创新》
2008年10期
关键词
LIGA技术
三束(电子
离子
激光)
加工技术微/纳结构加工技术是指制造微小尺寸的零件,实现微米
亚微米至纳米量级加工精度的制造技术及其相关设备。从广义上来说,微/纳结构加工技术包含了各种传统精密加工方法和与传统精密加工方法完全不同的新方法。从狭义上来说,微/纳结构加工技术主要是指半导体集成电路制造技术,微/纳结构加工技术是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的,它是大规模集成电路和计算机的技术基础,是信息时代
微电子时代和光时代的关键技术之一。其加工方法多偏重于指集成电路制造中的一些工艺。
分类
[文化科学][]
出版日期
2008年10月20日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
科学技术创新
2008年10期
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加工技术微/纳结构加工技术是指制造微小尺寸的零件,实现微米
亚微米至纳米量级加工精度的制造技术及其相关设备。从广义上来说,微/纳结构加工技术包含了各种传统精密加工方法和与传统精密加工方法完全不同的新方法。从狭义上来说,微/纳结构加工技术主要是指半导体集成电路制造技术,微/纳结构加工技术是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的,它是大规模集成电路和计算机的技术基础,是信息时代
微电子时代和光时代的关键技术之一。其加工方法多偏重于指集成电路制造中的一些工艺。
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