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金刚石薄膜光学镀层材料的应力特性研究

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摘要金刚石膜作为光学镀层时,应力的控制是一项关键技术,本文实验研究了金刚石膜和类金刚石膜作为光学镀层材料时的应力特性,并对此进行了分析.

DOI kwjvlq2947/284974

作者王小兵;程勇;吕反修;王古常;孙斌;吝君瑜;杨武保

机构地区不详

出处《光学与光电技术》 2003年1期

关键词金刚石膜光学镀层 MPCVD PLD

分类 [机械工程][光学工程]

出版日期 2003年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

光学与光电技术

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