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浅析单晶硅的生产现状

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摘要摘要本文综述了制造光伏电池和集成电路用单晶硅的特点，对直拉法生长单晶硅的基本原理及生产工艺进行论述，并且分析了直拉法单晶生长过程中的主要杂质及其来源。

DOI odw18v23jk/3389632

作者高磊刘佳佳

机构地区（郑州大学，河南郑州450001）

出处《知识-力量》 2018年8期

关键词单晶硅直拉法生产工艺

分类 [文化科学][]

出版日期 2018年08月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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单晶硅直拉法生产工艺

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