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半导体工艺新发展概述

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摘要摘要半导体是我们生活当中的重要材料类型，在特征尺寸不断缩小的过程中，新技术与材料也具有了重要的产生价值。在本文中，将就半导体工艺新发展进行一定的研究。

DOI ldeo59vn43/3565065

作者顾荣军孙远见张雪玲

机构地区江苏新苏机械制造有限公司江苏省无锡市214000

出处《基层建设》 2018年9期

关键词半导体工艺发展概述

分类 [建筑科学][建筑设计及理论]

出版日期 2018年09月19日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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