切割法生产硅芯电学性能的控制

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摘要 摘要切割法生产的硅芯电学性能控制难度大。不同硅芯导电类型不一致,有N型、P型和混合型,甚至同一支硅芯的不同位置导电类型也不相同;硅芯电阻率不均匀,范围较大。随着多晶硅工艺的不断完善,国内生产的多晶硅质量达到一定水平,硅芯质量问题不断凸显,解决切割法生产硅芯工艺的这一缺点迫在眉睫。
作者 冯雪
出处 《电力设备》 2018年4期
出版日期 2018年04月14日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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