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基于BBr3液态源的硼扩散工艺优化研究

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摘要摘要本文通过对硼扩散过程中源量、推进温度和时间以及后氧化的优化，研究了其对掺杂表面浓度和结深的影响。优化后的硼扩散工艺，双面对称结构测试iVoc由673mV升高到685mV；J0由45fA/cm-2降低至22fA/cm-2。制成N型PERT双面电池后，电池的开路电压有8mV的提升，最终的转换效率有0.34%的提升。

DOI ldexow3z43/3792289

作者刘大伟倪玉凤杨露

机构地区（国家电投集团西安太阳能电力有限公司陕西西安710100）

出处《电力设备》 2019年14期

关键词硼扩散方块电池表面浓度转换效率

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2019年10月28日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）