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国产化全自动硅块清洗机混合酸寿命的研究

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摘要摘要本文对硅块清洗过程中的混合酸洗工艺做了简介，对提高混合酸寿命的各项影响因素，如酸液配比、酸洗时间及滴定工艺的设置，进行了详细的论述和研究，得到了降低清洗成本的效果。

DOI 7dmxq7nejn/4115630

作者王艳方正兴柳荣

机构地区陕西天宏硅材料有限责任公司陕西咸阳712038

出处《防护工程》 2018年27期

关键词硅块硅块清洗机混合酸寿命滴定

分类 [文化科学][]

出版日期 2018年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

防护工程

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