化学法多晶硅生产工艺研究进展

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摘要 【摘要】随着社会经济的不断发展,各个国家对于能源的需求也是越来越强烈,然而,由于人类的过度开采和不合理利用,能源危机不断加剧。为了缓解能源危机,太阳能这一可再生能源再次成为各国的最佳选择。要想利用好太阳能资源,尤其是使用太阳能进行发电,多晶硅材料必不可少。因此,近年来,多晶硅生产需求量不断增加,为了提高多晶硅生产的质量与产量,要求对多晶硅生产工艺进行改进。文章从化学法多晶硅生产工艺为切入点,从国内国外两个角度分析了现今多晶硅的生产状况,并且详细介绍了几种在工业上较为经常使用的化学法多晶硅生产工艺,并且做了相应的优劣比较。
出处 《科学与技术》 2020年3期
出版日期 2020年06月02日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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