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轻质导轮及导轮总承对金刚线切割工艺的提升

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摘要摘要：细线化切割单晶硅片工艺中，导轮及导轮总承的稳定运行对切割硅片表面质量起到很大作用。对比了单晶硅片切割所用导轮及导轮总优缺点，通过分析其张力系统、材质，设计样式及实验验证后，最终确定轻质导轮及导轮总承为细线化切割单晶硅片所用。

DOI lj1py3v1jv/4804492

作者张琳

机构地区黄河水电西宁太阳能电力有限公司青海西宁 810000

出处《科学与技术》 2020年9期

关键词单晶硅片轻质导轮转动惯量使用寿命张力系统

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2020年09月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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