首页 > 《工程管理前沿》 > 2020年25期 > 薄膜液晶面板制造业PECVD废气的治理

薄膜液晶面板制造业PECVD废气的治理

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要摘要：本文从薄膜液晶面板制造工艺入手，列举了该类工艺常见的废气种类，重点介绍了PECVD机台的运作原理及其废气的排放处理，最后通过归纳整理，给出了一种可靠的PECVD废气处理方案。

DOI zdlek7ypjl/4970716

作者李祯

机构地区中国电子系统工程第二建设有限公司

出处《工程管理前沿》 2020年25期

关键词液晶面板 PECVD 废气处理

分类 [天文地球][工程地质学]

出版日期 2020年12月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1刘闻. 液晶面板的秘密.电力电子与电力传动,2006-11.
2孙浩. 液晶面板制造业中非接触式自动贴片机械结构设计.建筑技术科学,2023-11.
3郑少丹,王书明. 液晶面板异物分析改善要点.建筑技术科学,2022-07.
4章红梅. 液晶面板制造企业职业卫生管理浅谈章红梅.建筑设计及理论,2017-12.
5商明明. 机械制造中应用液晶面板制造行业的风险初探.建筑技术科学,2021-04.
6吴磊. 我国液晶面板产业智能制造现状及演进探索.建筑设计及理论,2019-11.
7. 合肥液晶面板8．5代线年内量产.材料科学与工程,2012-06.
8许利. 论电子工程中的液晶面板静电防护.,2022-06.
9. 重庆液晶面板低成本光刻工艺取得突破.材料科学与工程,2017-02.
10. 深圳8．5代液晶面板生产线正式启动.材料科学与工程,2009-12.

来源期刊

工程管理前沿

工程管理前沿

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

液晶面板 PECVD 废气处理

返回顶部