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电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术研究

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摘要摘要：多晶硅是集成电路和太阳能光伏发电的关键原材料。多晶硅在诸多领域被广泛的应用。目前改良西门子法以其节能、节省物耗、减少污染等优点被广泛应用于多晶硅生产中。多晶硅生产厂家现在大多只能生产出太阳能级多晶硅，而对电子级多晶硅的生产一直存在着技术瓶颈。本文就电子级多晶硅循环氢气深冷分离除杂技术展开探讨。

DOI wjv36ekq47/5451902

作者葛龙飞

机构地区新特能源股份有限公司新疆光伏材料制备与应用技术重点实验室 830011

出处《科学与技术》 2021年12期

关键词电子级多晶硅循环氢气深冷

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2021年08月20日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）