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基于S7-1500PLC的硅料清洗控制系统设计

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摘要摘要：本文介绍了一种基于西门子S7-1500系列PLC控制的多晶硅料清洗设备控制系统的设计方案，结合多晶硅清洗设备功能及结构特点，论述了硅料清洗设备控制系统的硬件、软件设计方案与实现。

DOI rdx3y3m9dl/5497801

作者张博，薛书亮，王峥，马万明，毛善高

机构地区中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176

出处《中国科技信息》 2021年8期

关键词多晶硅料 PLC 硅料清洗控制系统

分类 [][]

出版日期 2021年09月10日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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中国科技信息

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多晶硅料 PLC 硅料清洗控制系统

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