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简述电子工艺设备技术性能指标提出方法及内容

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摘要摘要：在当前时代背景下，电子工艺设备的应用率越来越高。但是，在技术指标方面，一直存在完整性低、不清晰、精确度不够的情况，导致设备和技术的应用无法匹配。为此，相关人员就要提高重视，从多个角度出发，深入分析。本篇文章主要描述了性能指标提出方法研究，并对于性能指标内容研究发表一些个人的观点和看法。

DOI odwrqw0y4k/5695232

作者张建新冯依江

机构地区陕西凌云电器集团有限公司，陕西宝鸡 721006

出处《科学与技术》 2021年20期

关键词电子工艺设备技术性能指标提出方法内容

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2021年12月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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