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PECVD法制备纳米硅烷复合防护膜及性能研究

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摘要摘要：受盐雾、潮湿和水分等环境影响电子产品在使用过程中易产生故障，迫切需要制备防护膜提高其可靠性。本文中采用等离子增强化学气相沉积法（PECVD）以六甲基环三硅氧烷为单体沉积过渡层，再分别沉积二丙烯酸二乙二醇酯和2-(全氟癸基)乙基甲基丙烯酸酯在过渡层上形成纳米复合防护膜层。并研究了放电功率、沉积时间、单体流量、氦气流量、缓蚀剂等对复合膜的性能影响。

DOI n49m11x7jy/6116235

作者蔡泉源

机构地区江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司江苏无锡 214183

出处《建筑创作》 2022年4期

关键词 PECVD，纳米，硅烷，复合防护膜

分类 [][]

出版日期 2022年07月10日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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PECVD，纳米，硅烷，复合防护膜

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