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高纯气体中微量杂质分析方法探讨

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摘要摘要：社会经济迅速发展，武器导弹、飞船卫星等各个领域对气体的需求越来越大、要求越来越高，高纯气体生产逐渐受到更多的关注，为保证高纯气体质量，提升其使用效率，有必要结合具体的标准，针对高纯气体类型，采用适宜的方法来测量分析其微量杂质含量，确保高纯气体达到使用标准，以此来发挥其更大价值与效用。文章就高纯气体概念阐述、高纯气体中微量杂质分析方法展开了论述与分析。

DOI pd5r135w47/6378923

作者孟恒秦远望李涛

机构地区宿州伊维特新材料有限公司安徽省宿州市 234000

出处《科技新时代》 2022年10期

关键词高纯气体微量杂质分析方法

分类 [][]

出版日期 2022年09月05日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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