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《工程建设标准化》
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2022年13期
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突破集成电路测试设备关键技术
突破集成电路测试设备关键技术
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摘要
摘要:集成电路测试设备属于芯片生产过程中的质量控制设备,也是全行业正在全力突破的“卡脖 子”领域之一。芯片制造过程中的几乎每一道工序都要用到质量控制设备,用来对被观测的晶圆 电路上的结构尺寸和材料特性等做出量化描述,如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等。 毫不夸张地说,质量控制设备水平的高低,直接影响着芯片性能的优劣。
DOI
pj08v1v04y/6512051
作者
周平煌
机构地区
身份证号:430381198509066012
出处
《工程建设标准化》
2022年13期
关键词
集成电路
测试设备
关键技术
分类
[建筑科学][建筑理论]
出版日期
2022年10月19日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
工程建设标准化
2022年13期
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