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n-GaN成长条件对blue mini LED特性的影响

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摘要摘要：Mini LED背光应用在电视，车载显示，笔电，智能穿戴等产品的显示技术正在迅速发展。以图形化蓝宝石为衬底，采用有机金属化学气相沉积技术生长blue mini LED外延片。本文通过调整N型氮化镓层的成长速率，硅浓度，厚度的条件获得不同条件的外延片，将这些外延片制作成芯片并量测LED特性。研究N型氮化镓层不同成长条件对LED特性影响。

DOI rdx67gykdl/6747597

作者林小坤邱汉德杨鸿志

机构地区开发晶照明(厦门)有限公司，福建厦门 361000

出处《科学与技术》 2022年18期

关键词 N型氮化镓层成长速率硅浓度厚度 LED特性

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2023年01月07日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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