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光电集成与器件

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摘要 TN2562004064289氧化多孔硅周期性波导光栅耦合器的实验研究=Gratingcouplerofoxidizedporoussilicon[刊,中]/贾振红(新疆大学信息科学与工程学院.新疆,乌鲁木齐(830046)),涂楚辙…∥光电子·激光.—2004,15(5).—534-536报道了用两柬相干激光在HF溶液中的多孔Si(PS)表面上干涉形成光强周期分布,通过光溶解得到了孔隙率周期变化的结构.从而制备出氧化PS周期性波导光栅。实现了辐射模与波导中传输模之间的耦合,并由外部入射光波或衍射光的方向确定了波导层的有效折射率。图3参10(于晓光)

DOI 54k11kqydk/700957

作者

机构地区不详

出处《中国光学》 2004年6期

关键词时域有限差分法信息科学光栅耦合器氧化多孔硅周期性波导激光

分类 [理学][物理]

出版日期 2004年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）