摘要
摘要：磁流体真空传动装置是把旋转运动传入真空容器的一种部品解决方案，杜绝了气体泄漏和污染，适用于对密封要求很高的场合。如今，在许多需要自由控制进给的装置上，真空传动装置已得到广泛应用，如在硅生长、目标位置电子指示器、溅射、等离子蚀刻、化学气相淀积、离子移置技术、液晶再生过程中，减少了不必要的停机时间，具有特殊意义。本文主要是介绍磁流体真空传动装置零部件组成部分及主要零部件的加工工艺，常规的磁流体真空传动装置主要由无磁壳体（HOUSING）、磁性主轴（SHAFT）、磁极块（POLE PIECE）、垫圈（SPACER）、盖子（COVER）、磁流体、永久磁铁、O型密封圈、轴承、卡环等部分组成。其中HOUSING、SHAFT、POLE PIECE、SPACER、COVER这5类零件的制造主要由机械加工的方式来完成零件的生产制造。本文重点介绍以上5类零件的产品关键特性及加工难点。
出版日期
2023年04月21日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
