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集成电路行业特殊电压设备的不间断电源解决方案

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摘要摘要：在集成电路行业晶圆制造中有大量进口半导体工艺设备，各国的电压标注不一致导致了半导体工厂电力系统存在多种电压等级。同时晶圆制造非常精密，在整个制造过程中各种半导体设备对电力品质的要求非常苛刻，因此会使用到大量的不间断电源装置供电。文章通过对集成电路行业特殊电压的生产设备、特殊电压的不间断电源装置分析，提出集成电路行业晶圆厂不间断电源解决方案。

DOI pj0q816w4y/7230775

作者张鹏飞刘章波

机构地区中国电子系统工程第四建设有限公司，北京市 100070

出处《中国电气工程学报》 2023年4期

关键词集成电路，半导体设备，208V电压，480V电压，电能质量，UPS

分类 [文化科学][]

出版日期 2023年06月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国电气工程学报

2023年4期

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