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微纳机电系统设计与制造的优化研究

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摘要摘要:随着科技的不断进步和应用的拓展，微纳机电系统（MEMS）在各个领域中得到了广泛的应用。微纳机电系统的优化设计和制造是提高其功能和性能的关键。本文旨在研究微纳机电系统设计与制造的优化方法，以实现更高的效率、更好的可靠性和更低的成本。本研究将探讨MEMS的优化设计和制造的关键问题，提出一种综合考虑多个因素的设计方法，并介绍一些常用的优化工具和技术。通过优化设计和制造，我们可以为微纳机电系统的发展和应用带来更大的推动力。

DOI ldelpkp943/7494117

作者张靖权

机构地区 441900197711180719

出处《工程建设标准化》 2023年12期

关键词微纳机电系统，优化设计，制造，性能，可靠性

分类 [建筑科学][建筑理论]

出版日期 2023年08月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）