多晶硅生产设备对产品外在质量影响

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摘要摘要：随着科学技术不断发展，多晶硅应用范围也是不断的扩大，不仅能够在集成电路合成、太阳能装置制造和半导体的制备方面得到广泛应用，还可以用来制造单晶硅。但是就实际应用情况进行分析，多晶硅在化工领域的应用与国外先进国家相比，有着较大的差距，在实际加工中出现一些环境污染的问题。下面就基于作者实际工作经验，简要的分析多晶硅生产的节能降耗，希望对相关从业人员有所帮助。

DOI wjvmx916j7/7698826

作者邓韬李宏磊

机构地区新疆昌吉 831100

出处《未知》未知

关键词多晶硅生产工艺节能降耗

分类 [][]

出版日期 2023年10月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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