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浅谈硅外延片乳突缺陷的一种无损检测方法

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摘要摘要：本文分析了硅外延片量产过程中发现的一种胞状结构微观缺陷——乳突缺陷的测试方法。与外延片常见缺陷不同，作为硅外延晶格体缺陷中的不均一性畸变，该缺陷具有表征检测信号弱和生产环境中不易检测的特点。本文针对乳突缺陷在生产检测阶段极易漏报的特征，通过微缺陷数据分析，结合扫描表面检查法（SSIS），研究通过排除延伸光散射体（XLS）和边缘无效测试区信号干扰的检测方法，使硅外延乳突缺陷的无损批量检测具备了可行性。

DOI ojz2nvprj5/7776094

作者周海枫

机构地区南京国盛电子有限公司，江苏南京211100

出处《中国科技信息》 2023年14期

关键词单晶硅硅外延微缺陷乳突无损检测技术颗粒计数法直射光

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2023年11月08日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）