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电子级双氧水在半导体制造中的应用研究

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摘要摘要：本文综合研究了电子级双氧水在半导体制造中的应用，重点分析其物理和化学性质以及在清洗、蚀刻和氧化工艺中的作用。通过深入探讨电子级双氧水的制备方法、纯化技术和严格的质量控制标准，本研究揭示了高纯度双氧水对保证半导体产品质量和生产效率的重要性。研究结果表明，电子级双氧水的优化应用不仅能显著提高半导体制造过程的效率和产品性能，还有助于推动半导体技术的进步和行业的可持续发展。展望未来，本文认为，进一步提高双氧水的纯度和应用效率，以及探索其在新型半导体材料中的应用，将是研究的重要方向。

DOI 3j7m0vywqj/8208129

作者周凡1王平2张银霞1陈胜1

机构地区 1索尔维蓝天（衢州）化学品有限公司浙江衢州 324000

出处《科技新时代》 2024年3期

关键词电子级双氧水半导体制造纯化技术质量控制

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年04月26日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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