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电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化

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摘要摘要：多晶硅作为高能耗的化工产品，是生产太阳能电子元件的基础性材料，在光伏产业发展的过程中发挥着极其重要的作用，在国家能源中占有很大的比重。目前全球电子级多晶硅的需求量远远大于实际生产能力。当前，我国急需改善多晶硅行业的发展状况，解决成本高、能耗大，技术相对落后的问题，提高电子级多晶硅的供应量；升级多级精馏提纯三氯氢硅的技术，降低分离能耗，提高多晶硅的生产率，为电子级多晶硅的发展奠定良好的基础。

DOI wjv555nmwd/8319150

作者雷雨田

机构地区青海丽豪半导体材料有限公司

出处《科技新时代》 2024年6期

关键词多晶硅生产精馏工艺优化

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年05月30日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）