化工合成法生产高纯度多晶硅材料的工艺探究

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要摘要：探究了化工合成法在生产高纯度多晶硅材料方面的工艺。通过综合分析现有文献和实验数据，探讨了化工合成法在提高多晶硅材料纯度和晶体结构均匀性方面的潜力。研究发现，在合适的工艺条件下，化工合成法能够有效地控制多晶硅材料的晶体缺陷和杂质含量，实现高纯度多晶硅的制备。此外，通过优化反应条件和工艺参数，还可以进一步提高多晶硅材料的晶体质量和生产效率。

DOI 34gmmeo384/8358507

作者顾东仁，徐烁，王正华

机构地区内蒙古鑫元硅材料科技有限公司

出处《未知》未知

关键词化工合成法高纯度多晶硅晶体结构晶体缺陷杂质控制

分类 [][]

出版日期 2024年06月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1顾东仁,徐烁,王正华. 化工合成法生产高纯度多晶硅材料的工艺探究.城市规划与设计,2024-06.
2刘广荣. 潞安集团高纯度多晶硅项目开工.物理电子学,2008-03.
3樊,强. 多晶硅生产中精馏工艺优化研究.建筑技术科学,2024-06.
4游书华. 多晶硅生产中精馏工艺优化研究.建筑技术科学,2024-06.
5梁亚勇. 多晶硅生产工艺的现状与发展.,2022-11.
6李咸江. 多晶硅生产工艺的现状与发展.建筑技术科学,2024-04.
7李钱利. 多晶硅生产废气处理的工艺技术.建筑技术科学,2024-06.
8姚小稳;王光祖. 高纯度CBN多晶体的高压合成及其特征.刀具与模具,2002-05.
9李福中1,康明2,吴晴3. 多晶硅生产中精馏工序工艺优化浅析.建筑技术科学,2020-10.
10王振荣. 多晶硅生产中废气处理工艺改造.建筑设计及理论,2018-12.

化工合成法生产高纯度多晶硅材料的工艺探究

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

化工合成法生产高纯度多晶硅材料的工艺探究

相关推荐

同分类资源 更多

相关关键词

同分类资源更多