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ALN基负载衰减器侧面端导薄膜溅射工艺研究

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摘要摘要：使用薄膜溅射工艺制作ALN基负载衰减器产品侧面端导，不仅可以提高生产效率，还可以大幅度提高产品合格率，满足产品的批产需求。

DOI 3j7mm1nwgj/8416653

作者薛静蓉邹凤誉路怡乐

机构地区陕西华经微电子股份有限公司陕西省西安市 710065

出处《中国科技信息》 2024年8期

关键词高精度溅射治具侧面端导

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年07月01日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

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