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电子级多晶硅纯度提升技术及其在半导体行业的应用
电子级多晶硅纯度提升技术及其在半导体行业的应用
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摘要
摘要:电子级多晶硅作为半导体制造的核心材料,其纯度对器件性能至关重要。本文探讨了电子级多晶硅纯度提升技术的最新进展,分析了物理、化学等多种提纯方法的优劣及应用情况。随着技术的不断发展,电子级多晶硅纯度得到了显著提升,为半导体行业提供了更高性能、更稳定的原材料。紧接着,还讨论了这些技术在微电子、集成电路等领域的应用,展望了未来技术发展的方向,对推动半导体行业技术进步具有重要意义。
DOI
0dpoo018wj/8423345
作者
黄明明
机构地区
江苏鑫华半导体科技股份有限公司
出处
《中国科技信息》
2024年6期
关键词
电子级多晶硅
纯度提升技术
半导体行业
分类
[建筑科学][建筑技术科学]
出版日期
2024年07月02日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
中国科技信息
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