首页 > 《中国科技信息》 > 2024年6期 > 电子级多晶硅纯度提升技术及其在半导体行业的应用

电子级多晶硅纯度提升技术及其在半导体行业的应用

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要摘要：电子级多晶硅作为半导体制造的核心材料，其纯度对器件性能至关重要。本文探讨了电子级多晶硅纯度提升技术的最新进展，分析了物理、化学等多种提纯方法的优劣及应用情况。随着技术的不断发展，电子级多晶硅纯度得到了显著提升，为半导体行业提供了更高性能、更稳定的原材料。紧接着，还讨论了这些技术在微电子、集成电路等领域的应用，展望了未来技术发展的方向，对推动半导体行业技术进步具有重要意义。

DOI 0dpoo018wj/8423345

作者黄明明

机构地区江苏鑫华半导体科技股份有限公司

出处《中国科技信息》 2024年6期

关键词电子级多晶硅纯度提升技术半导体行业

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年07月02日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）