简介：摘 要：多晶硅还原工序是多晶硅生产的关键环节，工艺复杂、能耗高、产品质量受多因素影响。本文探讨通过智能感知技术对还原工序进行实时监测与数据采集，并结合优化决策模型提升工艺效率和产品质量。研究梳理了还原工序的关键参数和影响因素，设计了一套智能感知系统，通过传感器网络与数据处理平台实现工艺参数的实时监控与反馈调节，构建优化决策模型进行动态优化。实验结果表明，该方法提高了工艺稳定性与产品合格率，同时显著降低了能耗。
多晶硅还原工序智能感知与优化决策
