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  • 简介:摘要:随着科技的不断进步,当前光学遥感图像目标检测技术在军事、环境、城市规划、农业、林业等领域有着广泛的应用。与自然图像相比,遥感图像具有小目标多且密集分布、方向多样、背景复杂和目标尺度变化范围广泛等特点,这为通用目标检测算法在遥感图像上的应用带来了一定的挑战。对此也有很多针对性的改进算法被提出来,但是大多都只从遥感图像中的某一两个难点问题出发,而缺乏一定的综合性,其检测性能也很难达到在普通图像上的较高水平。

  • 标签: 光学遥感图像 目标检测 方法研究
  • 简介:摘要:随着科技的不断进步,通常而言,在芯片制造工艺中,为了管控良率,企业需要采用自动光学检测技术,在一些特定的环节对晶圆表面进行缺陷检测。针对不同的缺陷类型和晶圆背景,人们往往需要采用不同的照明探测手段,如明场照明和暗场照明等。受限于探测光路的彼此干扰,明场检测和暗场检测无法同时进行,因此当生产中需要使用明场检测和暗场检测来共同完成晶圆表明检测时,相比于只使用明场照明或暗场照明,该工序的检测时间会大大增加。但同时,产能直接关乎工厂的芯片生产效益,工厂对设备的产率有着严格的性能指标要求。

  • 标签: 自动光学检测设备 产率优化 研究