简介:首先介绍了多晶电阻在线监控和工艺控制模块(PCM)监控的两种方法:四探针法和范德堡法,并解决了四探针法在线监控方法多晶电阻波动大的问题;针对生产过程中遇到的多晶电阻偏小问题,通过扫描电镜分析发现多晶晶粒明显偏大,通过对多晶淀积速率的分析确定多晶速率越小,多晶淀积晶粒越大,根据多晶导电理论可知多晶晶粒大,晶粒间界变小,晶粒间界杂质俘获变少,多晶掺杂浓度转化为载流子的比例变高,因此多晶电阻变小。最后根据工程实践列举了影响多晶淀积速率的两大主要因素为多晶淀积温度和多晶炉管维护次数,为保证多晶淀积速率稳定,多晶炉管维护次数尽量少于6次,同时需要对多晶淀积温度进行控制。
简介:阐述了智能和人机融合智能的概念,分别从深度态势认知、伦理和介入体验3个方面分析了人机融合智能的内涵,并给出了自动化、智能化和智慧化三者之间的区别。首先,智能过程不是对环境被动响应,而是一种主动行为,智能系统在环境信息刺激下,通过采集、过滤和改变态势分析策略,从动态信息流中抽取不变性,在人、机和环境交互作用下产生近乎知觉的操作或控制;其次,智能系统中的计算是动态和非线性的,通常不需要一次将所有问题计算清楚,而是对需要的信息加以计算;再者,智能系统中计算应是自适应的,智能系统特性应随着与外界的交互而变化。因此,智能应该是外界环境、机器和人的认知感知器共同作用的结果,三者缺一不可。