简介：在研发一套基于0．18μm工艺的全新半导体芯片时，由于芯片工艺的要求我们将标准0．18μm工艺流程中的接触孔蚀刻阻挡层由原来的UVSIN＋SION改为SIN，但却引进了PID（等离子体损伤）的问题。当芯片的关键尺寸减小到0．18μm时，栅氧化层变得更薄，对等离子体的损伤也变得更加敏感。所以如何改善PID也成为这款芯片能否成功量产的重要攻坚对象。这一失效来源于接触孔阻挡层的改变，于是将改善PID的重点放在接触孔蚀刻阻挡层之后即后段工艺上。后段的通孔蚀刻及钝化层的高密度等离子体淀积会产生较严重的等离子体损伤，因此如何改善这两步工艺以减少等离子体损伤便成为重中之重。文中通过实验验证了关闭通孔过蚀刻中的磁场以及减小钝化层的高密度等离子体淀积中的溅射刻蚀功率可以有效改善芯片的等离子体损伤。通过这两处的工艺优化，使得PID处于可控范围内，保证了量产的芯片质量。

简介：钠是地球上储量较丰富的元素之一,与锂的化学性能类似,因此也可能适用于锂离子电池体系。钠离子电池相比锂离子电池有诸多优势,如成本低,安全性好,随着研究的深入,钠离子电池将越来越具有成本效益,并有望在未来取代锂离子电池而被广泛应用。介绍了钠离子电池正极材料、负极材料的最新研究进展,分析了该电池未来的研究发展方向。

简介：在通信栅格网的基础上将探测单元、信息处理系统和信息服务系统有机地组织起来,形成一体化防空探测系统,从体系和系统层面实现抗干扰。介绍了一体化防空探测系统的组成和特点,阐述了该系统的电磁环境、面临的干扰及其分类。最后,从探测单元、信息共享、探测单元合理配置与灵活重组3方面提出了该系统可以采用的抗干扰技术和措施。

简介：在雷达信号和通信信号一体化电子战系统中，需要处理的雷达信号和通信信号在时频域都是重叠的，存在很强的时频耦合，给信号检测带来很大的困难。讨论了作为干扰的强通信信号对宽带雷达脉冲信号非协作检测的影响，提出了一种基于分数阶Fourier变换的干扰抑制方法。该方法利用分数阶Fourier变换对不同信号的时域聚集特性，在分数阶Fourier变换域滤除干扰，提高了信号的信干比，改善系统对宽带脉冲的检测性能，该方法对存在多个通信干扰信号时仍然适用。仿真结果表明，该方法对提高系统检测宽带雷达脉冲信号的性能是有效的。