简介：研究表明含氟气体的性质决定了原子氟（F）的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟（F）的转化效率也就会越高。所以C3F8（八氟丙烷）比C2F6（乙氟烷）具有更高的利用效率,更少的PFC（全氟化物）的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷（TOES）为基础的离子增强化学气相沉积（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD）的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计（DesignOfExperiment,DOE）,调整腔体压力、射频（RF）功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。

简介：针对法布里—珀罗干涉型压力传感器进行光学解调技术研究,采用以双折射光楔为核心的白光偏振干涉系统对传感干涉系统进行解调,利用不同尺寸光楔设计对比实验并进行加压检测,确定传感系统与解调系统匹配的具体设计方法.

简介：在这份报纸，消极地切换Q、锁模式的c切割在1.17m的做Nd的vanadate水晶self-Raman激光被使用Cr第一表明<啜class=“a-plus-plus”>4+:YAG。Nd的二晶体<啜class=“a-plus-plus”>3+:YVO4和Nd<啜class=“a-plus-plus”>3+:GdVO4被采用分别地产生激光。与13W的事件泵力量，在1.17m的678mW和852mW的平均产量力量分别地与1.8ns和2ns的切换Q的信封的持续时间被获得。锁模式的重复率分别地象2.3Hz和2.2GHz一样高。根据我们知道，切换Q的信封是最狭窄并且锁模式的重复率是最高目前在这块地里。另外，黄激光输出被使用解放也完成<潜水艇class=“a-plus-plus”>3O<潜水艇class=“a-plus-plus”>5频率加倍水晶。