简介:摘要:在新形势下,我国经济高速发展,我国科学技术不断提高,我国曝光机中的光源技术,也在不断优化和升级,获得了进一步的提高,曝光机的运转效率不断提高,能够切实地满足工业生产的实际需求。我国技术人员也逐渐采用了LED光源,代替了传统的汞灯,能够有效弥补传统汞灯,在使用过程中温度较高、耗电量较大的缺陷。同时,也能够有效贯彻我国节能、环保的发展目标,能够减少光源对臭氧层的破坏,更好地保护脆弱的生态环境。LED光源,与传统的汞灯相比,发热量较低、耗电量较少,并且在发电过程中,不会产生有害物质。因此,能够成为崭新的能源,满足工业生产的实际需求。因此,本文主要对曝光机中LED光源,替代传统汞灯的技术进行分析。
简介:摘要:在新形势下,我国经济高速发展,我国科学技术不断提高,我国曝光机中的光源技术,也在不断优化和升级,获得了进一步的提高,曝光机的运转效率不断提高,能够切实地满足工业生产的实际需求。我国技术人员也逐渐采用了LED光源,代替了传统的汞灯,能够有效弥补传统汞灯,在使用过程中温度较高、耗电量较大的缺陷。同时,也能够有效贯彻我国节能、环保的发展目标,能够减少光源对臭氧层的破坏,更好地保护脆弱的生态环境。LED光源,与传统的汞灯相比,发热量较低、耗电量较少,并且在发电过程中,不会产生有害物质。因此,能够成为崭新的能源,满足工业生产的实际需求。因此,本文主要对曝光机中LED光源,替代传统汞灯的技术进行分析。
简介:摘要:本文利用COMSOL Multiphysics数值模拟软件对辉光放电激发光源的放电空间进行数值模拟仿真,在仿真过程中进行了详细的参数设置,最终得到放电空间的电子密度分布云图。可以观察到,放电空间中心区域等离子体密度较低,这将导致无法均匀平整地对样品进行激发。根据该仿真结果,在后续研究中需要针对这种现象提出相关改善方法,以保证辉光放电发射光谱仪较高的层间分辨率。