简介:摘要:伴随着摩尔定律的发展,集成电路(以下简称IC)的发展经历了从小规模集成电路(SSI)、中规模集成电路(MSI)、大规模集成电路(LSI)、甚大规模集成电路(VLSI) 直至今天的超大规模集成电路(ULSI)、巨大规模集成电路(GSI)。根据国际半导体技术路线图(ITRS)的规定,集成电路工艺水平是通过技术节点来衡量。技术节点通常以晶体管的半节距 (half-pitch) 或栅极长度(gatelength)等特征尺寸(CD,critical dimension)来表示 。在进入 ULSI 时代以后,横向空间的饱和,促使 IC 制造向垂直空间发展;向垂直空间发展的思路促使多层金属互连技术的出现。而多层金属互连技术的出现导致 IC 制造过程中不可避免的在层与层之间产生台阶,层数越多表面起伏愈加明显。明显的表面起伏主要有两方面的影响产生,一方面金属布线中容易导致断线、短路、断路,另一方面导致光刻时对线宽失去控制。
简介:摘要:水文资料是进行水文水利计算的基础,是决定成果精度的关键。水文长系列资料的分析审查包括资料的可靠性、一致性和代表性。本文收集了北洛河流域重要控制站交口河水文站1952-2022年的年降水量资料,采用单累积曲线法分析其可靠性;采用Mann-Kendal非参数检验法分析其一致性;采用模比系数法分析其代表性。