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  • 简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限

  • 标签: 微细加工光学技术 光学邻近校正 光刻技术 半导体技术 中科院 大学物理
  • 简介:氢原子光谱的误差特点收稿日期:1997年11月3日郑章华(广西师大桂林541001)1氢光谱的系统误差氢光谱谱片经过拍摄、冲洗、测片等过程中会出现各种系统误差,如果我们在实验过程中操作规范,许多系统误差可以减小甚至避免。但由于棱镜摄谱仪自身特点,...

  • 标签: 系统误差 氢原子光谱 棱镜摄谱仪 线色散率 空气折射率 线性内插法
  • 简介:论述了超声光栅的形成机理,运用定性半定量的方法,唯像而直观地给出了超声光栅衍射条纹的强度分布,并就相关问题进行了讨论。

  • 标签: 超声光栅 衍射条纹 定性半定量
  • 简介:物理教育应注重科学素质的培养。但物理教学课堂上师生授受的主要是整理好的系统的“死”的知识,培养科学素质的教育目标远没有实现。课题研究是指物理教学中实施的学生自主选择、确认并研究物理学习中的问题或与物理有关的技术、自然、社会和生活中的问题、课题(或专题)的研究性学习活动,学生通过这种学习活动,学习科学知识和技能、了解、使用科学研究的一般流程和方法,理解科学本质,养成自主探究的学习习惯,提高科学素质。物理教育中的课题研究具有问题性、学习性、研究性、自主性、过程性、开放性的特点

  • 标签: 课题研究 物理教育 特点 涵义 科学素质 物理教学
  • 简介:TN305.72005032365硅基微结构制作及其在微分析芯片上的应用=Fabricationofsilicon-basedmicrostructuresandtheirapplicationinmi-crochipsE刊,中]/孙洋(清华大学深圳研究生院.广东,深圳(518057)),钱可元…∥半导体光电.-2004,25(6).-477-479,483基于一种新的湿法刻蚀条件和新型的凸角补偿结构,以KOH溶液为腐蚀液,对单晶(100)Si材料进行了湿法刻

  • 标签: 衍射光场 飞秒激光 光刻胶 激光微细加工 光学工艺 抛光液
  • 简介:生产中遇到许多易变形弹性薄片零件,如常见的垫圈、摩擦片、特别的碟性弹簧,薄板、飞片等,它们刚性差、散热困难、装夹时易引起装夹变形,加工时会出现翘曲,严重影响零件的加工精度。对这类零件的精密加工技进行研究,对减少工件的热处理变形及装夹变形,减少变形工作对零件最终形成精度的影响,从而保证弹性薄片类零件的加工精度具有至关重要的意义。提高零件精加工前的精度以及减少零件装夹变形和减小切削力是提高零件加工精度的重要措施。对于力学性能要求较高的工件,一般都需要进行热处理,以提高工件的综合力学性能。

  • 标签: 弹性薄片零件 精密加工 力学性能 磨削工艺
  • 简介:对2002年广西中考理化合卷的组成及卷面情况进行简单分析,举例说明物理部分试题具有基础性、开放性和综合性等三大特点,提出今后中考命题及课堂教学的几点建议。

  • 标签: 中考命题 基础性 开放性 综合性
  • 简介:中考是全区统一的大规模选拔考试,其试题应具有较高的信度、效度和必要的区分度。今年广西的中考物理试题继续遵循着这一中考命题的指导思想和基本原则。从试题的具体设计看,与96、97两年试题比较,虽然有某些变化,但整体来看,试卷涉及的知识内容没有超出中考的《...

  • 标签: 物理试题 初中物理 知识点 考试说明 实验能力 基本技能
  • 简介:国家教委曾组织教育代表团考察了联邦德国高等专科教育。从代表团的《联邦德国高等专科教育考察报告》,我们认识到联邦德国高专的物理教育很具特色,值得我们参考。我仅就该报告中反映出的联邦德国高专物理教育的特点作些评介。

  • 标签: 物理教育 高专 联邦德国 点评 高等专科教育 国家教委
  • 简介:探讨形象思维与抽象思维的间接性、概括性、创造性和协同性的特点,并阐明在物理教学中如何利用这些特点,来提高学习物理的效率,培养学生的思维能力

  • 标签: 形象思维 抽象思维
  • 简介:TN2132005042956恒定辐照下一维HgCdTe环孔PN结光生载流子浓度的计算=Calculationofphotocarrierconcentrationofa1-DloopholeHgCdTePNjunctionundersteady-stateincidence[刊,中]/王忆锋(昆明物理研究所,云南,昆明(650223)),蔡毅//红外技术,-2004,26(6),-41-44,47通过求解一维HgCdTe环孔PN结连续性方程,得到了恒定辐照下光生载流子浓度的一般表达式,并对结果进行了分析讨论。图1参9(严寒)

  • 标签: 红外技术 毫米波 红外热诊断 红外热像仪 红外探测器 红外焦平面阵列
  • 简介:跟踪系统采用光电经纬仪工作模式,采用Kalman预测滤波技术对计算机接受到的传感器数据(包括电机编码器反馈信号、电视脱靶量信号)进行滤波预测,提供准确的位置、速度信息,进行有效预测外推,可以有效提高跟踪系统对机动目标的跟踪性能,实现对目标的稳定跟踪。

  • 标签: KALMAN滤波 预测技术 跟踪系统 控制技术 应用 反馈信号