简介:全面垂直层流洁净室气流组织的三个参数(不均匀性NU、通风效率Ea、流线平行度)影响着芯片的成品率.本文从以下方面论述了洁净室的气流组织的影响因素:送风方式、洁净度不同的速度介面、洁净室内设备及操作人员、洁净室的地板和盲板、灯具、缝隙等,为以后的精确分析洁净室的洁净度和对洁净室的气流组织优化提供帮助.
简介:针对本公司低温空调系统使用中出现的问题,采取改造措施,获得满意效果.
简介:文中首先建立了数值模拟局部集中送风洁净手术室空气分布的数学模型,然后对某大型手术室局部百级工况下,模拟人员产尘的实际情况进行了数值模拟,对室内的速度分布和污染浓度分布进行分析,从而指出考虑了人员产尘的洁净室空气分布预测结果比传统的空态研究结果更接近实际,对同类气流组织设计更具有指导意义.
全面垂直层流洁净室气流组织影响因素探讨
某洁净厂房低温空调系统存在的问题及改造措施
局部集中送风洁净手术室空气分布的数值模拟