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3 个结果
  • 简介:使用RF-PECVD法分别在基底温度为60℃、120℃和200℃的N型单晶锗表面制备了α-C:H膜,采用拉曼光谱、傅里叶变换红外吸收光谱和原子力显微镜等技术手段研究分析了α-C:H膜的价键组成及表面形貌,讨论了基底温度对α-C:H膜微结构及部分性能的影响。结果表明,在α-C:H膜沉积过程中,基底温度对膜层微观结构有较大影响,基底温度60℃时,膜层表面光滑、致密无石墨化现象。随着基底温度的升高,α-C:H膜中含H量和微晶石墨量逐渐增多,α-C:H膜层性能也逐步退化。

  • 标签: 类金刚石膜 基底温度 微结构 射频增强等离子体化学气相沉积 原子力显微镜
  • 简介:Wereportthefabricationofsubmicrometerpitsarray(SP-array)on6H-SiCsurfacebytheinterferenceoftwofemtosecondlaserbeams.FormationmechanismsandopticalabsorptionofSP-arrayarestudied.Therelativereflectivityandtransmissivityofwhitelightdecreaseto10%ofthevaluesofSiCcrystal,andtheopticalabsorptionisenhancedto97%.Therelativereflectivityandtransmissivityofincidentangleswithintherangeof20°-60°arekeptbelow25%.TheenhancementmechanismofopticalabsorptionoftheSP-arrayisalsodiscussed.

  • 标签: 亚微米级 光吸收 SiC 阵列 激光干涉 飞秒
  • 简介:以正硅酸乙酯为前驱体,乙醇为溶剂,盐酸为催化剂,采用溶胶-凝胶法制备了用于敏漆基质薄膜材料的SiO2溶胶。不同的成膜助剂对SiO2溶胶的涂膜性能影响较大,其中以异丙醇作为添加剂的溶胶涂膜性能最好。吸收光谱测试结果表明SiO2溶胶不吸收激发光,同时发射光谱研究结果表明SiO2溶胶发光波长为415nm左右,不影响敏漆探针分子的发光。

  • 标签: 压敏漆 溶胶-凝胶法 SIO2溶胶 吸收光谱 发射光谱