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  • 简介:p类型(100)上的HfO2电影的乐队排列磁控管劈啪作响种的InP底层被调查。化学状态和系统的结合的特征被X光检查光电子光谱学(XPS)描绘。结果证明没有Hf-P或Hf在里面的存在,有在2在接口的O3和InPO4。紫外分光光度计(UVS)被采用获得HfO2的乐队差距价值。在3d和Hf4f,核心级的系列和原子价系列被采用获得HfO2/InP的原子价乐队偏移量。试验性的结果出现(5.88??T

  • 标签: HFO2薄膜 INP衬底 排列 能带 p型 X射线光电子能谱