简介:<正>建区四年,坪山新区已引入重大用地产业项目85个,投资近1000亿元;国家生物产业基地已引进30余家生物医药企业和产业化平台项目,总投资逾100亿元;2012年,国家生物产业基地共实现工业总产值40亿元,预计到2015年,工业总产值将达到200亿元坪山新区自成立以来,一直高度重视生物产业的发展,坪山国家级生物产业基地的建设更是新区经济建设的重中之重,这里也被誉为"深圳生物产业新的经济增长极"。预计到2015年,新区生物产业产值将达到200亿元;到2020年,新区生物产值将达到1000亿元左右。届时,新区将真正成为深圳国家生物产业基地的核心区和示范区。
简介:Si1-x-yGexCy是继Si和GaAs之后又一重要的半导体材料。由于Si1-x-yGexCy具有优于纯Si材料的良好特性,器件和制程又可与SL工艺兼容,采用Si1-x-yGexCy及其Si1-x-yGexCy/Si结所制作出来的器件如异质结双极晶体管(HeterojunctionBipolarTransistor,HBT),其电性能几乎可达到GaAs等化合物半导体制作的同类器件的水平,而且在成本上低于GaAsHBT。因此Si1-x-yGexCy可能是未来微电子发展进程中必不可少、并起着关键作用的一种材料。文章对Si1-x-yGexCy薄膜的表征进行了探索,在总结大量数据的基础上,验证了利用Si1-x-yGexCy薄膜的反射率进行光学表征的方法的可行性。同时,文章系统研究了Si1-x-yGexCy薄膜的工艺条件、薄膜成份、薄膜厚度等参数对光刻对准性能的影响。